超纯水机品质的主要体现在超纯水水质方面。与超纯水相磁的术语主要有：电阻率、电导率、总有机碳量、微粒子、热源、微生物等。它们也是超纯水水质检测依据。

电阻率（resistivity）是用来表示各种物质电阻特性的物理量，与温度有关。单位是Ω·m或Ω.cm，超纯水中常用ΜΩ.cm。电阻率是超纯水中电解质含量的体现之一。通常，电阻率越大，超纯水纯度越高。

电导率：其物理学概念是在介质中该量与电场强度之积等于传导电流密度。对于各向同性介质，电导率是标量；对于各向异性介质，电导率是张量。通俗说，电导率是指物质传导电流的能力。单位是西门子每米（S/m）或μS/cm，超纯水技术指标中用μS/cm表示。水的导电性和水的电阻成倒数关系。水的电导率和电阻率主要受水中所含带电离子影响。

自然水中除了含有带电离子，还有其它多种杂质。有机物主要用总有机碳量表示。

总有机碳量（TOC）（或总有机碳）是以碳的含量表示有机物总量的一个指标。总有机碳量检测方法有很多种，biosafer超纯水机具有总有机碳量在线检测功能。

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